1. Tisztaság
A porlasztási cél tisztaságának legalább 99,95 százalékosnak kell lennie. Minél nagyobb a tisztaság, annál jobb a porlasztott film teljesítménye.
2. Sűrűség
A porlasztási cél relatív sűrűségének 98 százaléknál nagyobbnak kell lennie. A nagyobb sűrűségű célpont csökkentheti a filmrészecskék kifröccsenését a bevonási folyamat során, ezáltal javítva a film minőségét.
3. Szemcseszerkezet
Molibdén A porlasztó célpont egy polikristályos szerkezet. A porlasztás során a célatomok könnyen kiporlaszthatók a hatszögletű atomok legszorosabban elrendezett iránya mentén. A maximális porlasztási sebesség eléréséhez szükséges a porlasztási sebesség növelése a céltárgy kristályszerkezetének megváltoztatásával.
4. Szemcseméret
A szemcseméret mikrontól milliméterig terjedhet. A finomszemcsés céltárgy porlasztási sebessége gyorsabb, mint a durva szemcsés céltárgyé, és a lerakott film vastagságeloszlása is viszonylag egyenletes a céltárgyhoz kis szemcseméret-különbséggel.
5. A céltárgy és az alváz összekötése
Porlasztás előtt a céltárgyat az oxigénmentes réz alvázhoz kell csatlakoztatni, hogy a céltárgy és az alváz közötti hővezető képesség jó legyen. A kötés után ultrahangos vizsgálatot kell végezni annak biztosítására, hogy a két nem kötő terület 2 százaléknál kisebb legyen, hogy megfeleljen a nagy teljesítményű porlasztás követelményeinek.
